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Four rtp standard 1100ºc ul avec tube en quartz de 4 "et jauge à vide numérique

  • Model Number:

    TMAX-1200X-RTP-4
  • Delivery Time:

    3 days
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DESCRIPTION

Four standard à température ambiante de 1100ºc avec tube en quartz de 4 "et jauge à vide numérique



tmax-1200x-rtp-4 est un four tubulaire de traitement thermique rapide et compact avec un tube de quartz de traitement i.d. et des brides à vide. Il est conçu pour le recuit de wafers semi-conducteurs ou de cellules solaires d'un diamètre allant jusqu'à 3 ". tmax-1200x-4-rtp est chauffé par 8 unités de lumière halogène de 1kw avec un max. la vitesse de chauffage de 50ºc / seconde. Un régulateur de température de précision à 30 segments avec une précision de +/- 1 ºC est intégré dans le four pour permettre le chauffage, l’habitation et le refroidissement à différentes étapes. Le port rs485 et le logiciel de contrôle sont inclus pour permettre la surveillance du profil de température via un ordinateur tout en faisant fonctionner le four simultanément. ce four peut également être modifié en un four rte, css ou hpcvd (voir la note d'application ci-dessous)

Caractéristiques

structure du four

  • boîtier en acier double couche avec refroidissement par air maintient la température de surface du four inférieure à 60 ° C.
  • isolation en alumine fibreuse de haute pureté pour une économie d'énergie maximale.
  • couverture fendue avec protection de verrouillage , coupez l’alimentation si le couvercle est ouvert pendant le processus de chauffage du four.

entrée de puissance

208-240 ac, 50/60 hz monophasé, 9 kw max. (Disjoncteur 60a requis)


éléments chauffants

  • 8 tubes de lumière halogène de 1kw, (diamètre = 10mm, l = 300mm, longueur chauffée = 200mm)
  • durée de vie normale: 2000 heures (dépend du taux de chauffage)
  • le tube de lumière halogène est consommable. s'il vous plaît cliquez sur l'image à gauche pour commander un de rechange

zone de chauffage

Longueur de 12 "avec zone de température constante de 4" avec une uniformité de +/- 5 ° C

température de fonctionnement

  • 1100ºc max. pour & lt; 10 minutes
  • 1000ºc max. pour & lt; 20 minutes (remarque: si le fonctionnement de l'appareil est plus long, le boîtier de la chaudière sera> 100 OC, le boîtier de refroidissement du ventilateur doit être utilisé de l'extérieur)
  • 800ºc max. pour & lt; 120 minutes
  • 600ºc max. pour continu

max. taux de chauffage

50ºc / sec

taux de refroidissement

  • max. refroidissement: 60 ° C / min (sous vide: 200 mtorr), 117 ° C / min (sous pression atmosphérique)
  • plus bas refroidissement: 10 ºc / minute

thermocouple

type k, la tête du thermocouple touche le support d’échantillon en nitrure d’aluminium par le dessous

Contrôleur de température

  • contrôleur de température est inclus.
  • commande proportionnelle – intégrale – dérivée (commande pid) et fonction de réglage automatique
  • 30 segments programmés avec rampes de montée en pente, de refroidissement et d'habitation
  • alarme de surchauffe intégrée et alarme de défaillance de thermocouple
  • Précision de contrôle de la température à +/- 1 ºC
  • port de communication db9 pc par défaut
  • rencontré certifié

régulateur de température (optionnel)

  • Le logiciel de contrôle de la température mts02-y (pour les contrôleurs de la série yd518p) + un ordinateur portable de 15 "sont disponibles dans la barre des options.
  • vous pouvez mettre à niveau le contrôleur de température à la régulateur de température eurotherm 3504 qui est totalement compatible avec labview. Ce package comprend un programmateur eurotherm 3504, un câble de communication (rs485 - usb) et un cd logiciel. Cliquez sur l'image ci-dessous pour afficher la spécification complète du régulateur de température eurotherm 3504.

tube de quartz & amp; porte-échantillon

  • pinte taille du tube: 4.33 "o.d x 4.05" i.d x 16.2 "longueur . un Porte échantillon de 3 "de diamètre pour le recuit des échantillons jusqu’à 3 "de diamètre est inclus. aln a une conductivité thermique très élevée qui offre la meilleure uniformité de la température dans la zone de l’échantillon.
  • optionnel: Substrat en graphite de 3 '' d'épaisseur peut être utilisé comme alternative à une plaque. (veuillez cliquer sur l'image 3 ci-dessous pour commander)
  • optionnel: creuset en graphite: 87 mm od x 71 mm id x 12 mm hauteur avec couvercle est conçu pour un porte échantillon 3 ", peut également être modifié en un four rte, css ou hpcvd avec un creuset en graphite recouvert de sic.
  • le porte-échantillon peut être retiré de la bride pour utiliser le four RTP à d'autres fins.

bride à vide

  • La bride à haute dépression kf-d25 est en acier inoxydable avec double salut-temp. joints toriques en silicone, robinets à pointeau et enveloppe de refroidissement par eau.
  • Ne nécessite que le refroidissement par eau pendant de longues périodes à des températures & gt; 600 o c.
  • débit d'eau en circulation: 0,5 m 3 /heure.
  • la bride coulissante facilite le chargement, le déchargement des échantillons et d'autres processus spécifiques nécessaires.
  • couple thermique insérable pour une mesure précise.

pompe à vide (optionnel)

  • La pompe à vide eq-fyp est recommandée pour cette fournaise. la pression de vide finale dans ce système peut être de 10 ^ -3 torr. Les soufflets et les pinces à vide sont inclus dans cet emballage. Cliquez ici pour les spécifications de la pompe à vide eq-fyp.

refroidissement par eau (optionnel)

  • l'eau de refroidissement est nécessaire.
  • veuillez vous assurer que le débit d'eau de refroidissement est ≥ 10 l / min, température de l'eau. & lt; 25ºc; pression & gt; 25 psi.
  • nous suggérons d'utiliser la série eq-kj5000 refroidisseur d'eau à recirculation en tant que système de refroidissement (à commander séparément auprès des produits connexes ci-dessous) pour économiser l'eau.
  • avertissement: la durée maximale de séjour de cette fournaise RTT doit être inférieure à 600 secondes à 1000 ° C ~ 1100 ° C avec de l’eau du robinet, sinon le joint torique risque de fondre.

débitmètre

un débitmètre est installé sur le panneau avant pour régler le débit de gaz de 16 à 160 ml / min

jauge à vide

vacuomètre numérique avec une plage de mesure de 10 -4 à 1000 torr est installé sur le four.

pression de vide & amp; raccord de gaz

  • la pression peut atteindre 50 mtorr à l'aide d'une pompe à vide mécanique avec adaptateur kf25
  • la pression peut atteindre 10 -4 torr par pompe moléculaire avec adaptateur kf25

dimensions

  • bride fermée: 760mm (l) x 330mm (l) x 530mm (h) / bride ouverte: 1200mm (l) x 330mm (l) x 530mm (h)

poids net

70 kg (150 lb)

garantie

Garantie du fabricant limitée à deux ans et assistance à vie (les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les lampes halogènes ne sont pas couvertes par la garantie. Veuillez commander des pièces de rechange aux produits connexes ci-dessous).

ordinateur portable, logiciel et amp; contrôle wifi (optionnel)

  • ordinateur portable flambant neuf avec microsoft window 10 et microsoft office 2013 (essai gratuit de 30 jours) pour une utilisation immédiate.
  • système de contrôle de température basé sur labview) permet à l’utilisateur d’éditer le profil de température, de gérer une recette de traitement thermique, d’enregistrer et de tracer des données pour les fours à combustion interne.
  • une télécommande sans fil offre une plage de fonctionnement allant jusqu'à 300 mètres.
  • Les fonctions ci-dessus sont disponibles sur demande moyennant des frais supplémentaires (jusqu'à 1 000 dollars). Veuillez nous contacter pour plus d'informations.
  • Remarque:
    le logiciel est uniquement compatible avec le régulateur de température yudian de mti
conformité veuillez sélectionner le certificat dans la barre d'options:
ce certificat & amp; ul / csa ready: ce approbation, prêt à passer le certificat ul / csa
ul certircate - ul apprval (ul 61010), en supplément
optionnel
  • vous pouvez combiner le four RPT avec une station de vide poussé ou un système de livrée au gaz comme système de four sous vide ou de cvd. cliquez sur les images ci-dessous pour voir les détails
  • pour obtenir une vitesse de refroidissement rapide (<10 ºC / seconde), vous pouvez choisir un four RT avec rail de glissement. s'il vous plaît cliquez sur l'image ci-dessous pour voir les détails.
  • vous pouvez commander un module de contrôle de pression.

Notes d'application

  • fours à tubes avec des tubes de quartz sont conçus pour une utilisation sous vide et basse pression & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa. les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000 ° C, le débit des gaz doit être limité à <200 sccm (ou 200 ml / min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube
  • attention: un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression à moins de 3 psi pour un fonctionnement en toute sécurité. cette fournaise peut aussi être modifié en un four rte, css ou hpcvd avec un creuset en graphite recouvert de sic (cliquez sur l'image pour en savoir plus sur la configuration d'un traitement par diy)
  • après le cvd, le graphène doit être transféré du catalyseur métallique vers un autre substrat pour la plupart des applications. en utilisant la bande de transfert de graphène , le résidu peut être faible.

RTP Furnace





1. nous fournissons des machines avec support de la technologie de la batterie.

2 nous fournissons ensemble complet de équipement de batterie au lithium pour la recherche en laboratoire, la recherche à l'échelle pilote et la production lin e.




1 emballage standard exporté: protection anticollision interne, emballage externe de la boîte en bois.

2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.

3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie des dommages pour vous gratuitement.



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