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Four tubulaire rotatif à une zone de chauffage 1200c (diamètre 60 mm)

  • Model Number:

    TMAX-DSP-1200PECVD-X
  • Delivery Time:

    3 days
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DESCRIPTION

Four tubulaire rotatif à une zone de chauffage 1200c (diamètre 60 mm)



tmax-dsp-1200pecvd-xz Le système de four tubulaire pe-cvd 1200 ° C à trois zones est composé d’une source de plasma haute puissance 500w, d’un four tubulaire avec débitmètre massique de précision à canal intégré avec réservoir de mélange de gaz et d’une pompe à vide de haute qualité. Un tel four de pe-cvd est un nouvel outil pour faire pousser du nanofil, du graphène ou du sic.

Caractéristiques:

Puissance

3,5 kw

taille du tube

diamètre 60 (od) x1200mm

dimensions du produit (mm)

1300x420x1200

tube vitesse de rotation

Variable de 0 à 25 tpm

angle d'inclinaison du four

-10 à 30 °

fonctionnalités

1. deux temp de précision programmable contrôleurs avec 30 segments.

2 deux zones de chauffage contrôlées séparément:

    • 200mm de longueur pour chaque zone de chauffage
    • 400mm de longueur totale de chauffage
    • Surface de chauffage à température centrale constante de 250 mm si les deux zones étaient chauffées à la même température

structures de four

1. four à tubes divisés avec glissière

2 max 1150ºc pour le chauffage continu

3 régulateurs de température numériques de précision multi-programmables avec 30 segments.

4 puissance d'entrée: entrée 208 - 240v ca, monophasé à max. 4kw

alimentation plasma rf

1. puissance de sortie: 5 -500W réglable avec une stabilité de ± 1%.

2 fréquence rf: 13,56 mhz ± stabilité de 0,005%.

3 puissance de réflexion: 10w max.

4 correspondant: automatique

5 port de sortie rf: 50 Ω, type n, femelle

6 bruit: <30 db.

7. refroidissement: refroidissement par air.

8 puissance: 208-240vac, monophasé, 50 / 60hz

manomètre anti-corrosif

1. 3.8x10 -5 plage de mesure jusqu'à 1125 torr

2 anti-corrosif, indépendant du type de gaz

3 haute précision et reproductibilité dans l'atmosphère pour une détection fiable de la pression atmosphérique

4 La détection atmosphérique rapide élimine le temps d'attente et raccourcit le cycle de traitement

5 facile à échanger plug & amp; élément de capteur de jeu

station de pompage à vide et vannes

1. La pompe à vide sèche sans huile pfeiffer à haute vitesse (120 l / min), la limite 10e-3 torr est installée à l'intérieur du chariot mobile robuste

2 L'adaptateur kf25 et le tuyau en acier inoxydable sont connectés entre la pompe et la bride du tube avec une vanne à boisseau sphérique pour un branchement rapide du client

3 10e-2 torr vide peut être atteint à l'intérieur du tube de traitement

débitmètres massiques & amp; station de mélange de gaz

il est installé dans un chariot mobile robuste où le four tubulaire peut être placé sur le dessus. L'écran tactile LCD est intégré pour permettre un contrôle aisé du débit de gaz de chaque canal indépendant.

1. température de travail: 5 ~ 45 ºc

2 max. pression: 3x10 6 Pennsylvanie

3 précision: ± 1,5% de

4 doublure: ± (0,5-1,5)% de ms.

5 précision de duplication: ± 0.2% f.s.

6 plage de contrôle: 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm ou 1,2,3,5,10slm.

chauffage & amp; taux de refroidissement

    • Le port et le logiciel rs485 sont installés et permettent le contrôle du profil de température par PC.
    • pour atteindre le taux de chauffage maximal, l'utilisateur doit préchauffer le four à la température désirée, puis faire glisser le four dans la zone d'échantillonnage du tube
    • afin d'atteindre le max. vitesse de refroidissement, déplacez le four chauffé de la zone chaude vers la zone froide

taux de chauffage:

15 ° c / s (TA - 150 ° C);

10 ° C / sec (150 ° C à 250 ° C);

7 ° c / sec (250 ° C à 350 ° C);

4 ° C / sec (350 ° C - 500 ° C);

3 ° C / sec (350 ° C - 550 ° C);

2 ° C / sec (550 ° C - 650 ° C);
1 ° C / sec (650 ° C - 800 ° C);
0,5 ° C / sec (800 ° C - 1000 ° C);

taux de refroidissement:

15 ° C / sec (1000 - 950 ° C);

10 ° C / sec (950 ° C - 900 ° C);

7 ° C / sec (900 ° C - 850 ° C);

4 ° C / sec (850 ° C - 750 ° C);

2 ° C / sec (750 ° C - 600 ° C);
1,5 ° C / sec (600 ° C - 500 ° C);
1 ° c / seconde (500 ° C à 400 ° C);
0,5 ° C / sec (400 ° C - 300 ° C);

garantie

garantie limitée de deux ans avec support à vie.

Notes d'application

fours à tubes avec des tubes de quartz sont conçus pour une utilisation sous vide et basse pression & lt; 0,12 MPa (pression absolue).
attention: un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression à moins de 3 psi pour un fonctionnement en toute sécurité.
le débit des gaz doit être limité à & lt; 200 sccm (ou 200 ml / min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube.
Définition de la limite de vide pour tous les fours à tubes de quartz: * Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000 ° C.
pour le fonctionnement du système pecvd avec une taille de tube supérieure à 4 ", veuillez toujours respecter une distance supérieure à 1 mètre de la source de plasma après le démarrage du générateur de plasma.


PECVD Tube Furnace

1. nous fournissons des machines avec support de la technologie de la batterie.

2 nous fournissons ensemble complet de équipement de batterie au lithium pour la recherche en laboratoire, la recherche à l'échelle pilote et la production lin e.



1 emballage standard exporté: protection anticollision interne, emballage externe de la boîte en bois.

2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.

3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie des dommages pour vous gratuitement.


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