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laboratoire 1200 ℃ four tubulaire coulissant pecvd à deux zones (diamètre du tube en option)

  • Model Number:

    TMAX-DSP-1200PECVD
  • Delivery Time:

    3 days
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DESCRIPTION

laboratoire 1200 ℃ zones doubles s couvrable four à tube de pecvd (diamètre de tube en option)


tmax-dsp-1200pecvd est un four tubulaire coulissant pe-cvd à deux zones Le système comprend une source de plasma haute fréquence, une taille de tube et un rail coulissant intégré, un débitmètre massique de précision avec réservoir de mélange de gaz et une pompe à vide de qualité supérieure sans huile. Un tel four de pe-cvd est un nouvel outil pour faire pousser du nanofil ou du graphène avec les avantages suivants:
1. traitement à basse température par rapport au cvd conventionnel.

2. chauffage élevé & amp; taux de refroidissement en utilisant le four coulissant.

3. 1200ºc max. température de fonctionnement.

4. offre une large gamme de dépôts de matériaux, tels que le carbone et zno nanofil (ou tube) et graphème monocouche.

Caractéristiques:

modèle

dsp-1200 -pecvd-i

dsp-1200 -pecvd-ii

dsp-1200 -pecvd-iii

dsp-1200 -pecvd-iv

Puissance

3 kw

3 kw

4 kw

4 kw

taille du tube

dia 60 (od) x1800mm

dia 80 (od) x1800mm

dia 100 (od) x1800mm

dia120 (od) x1800mm

dimensions du produit (mm)

1800x410x610

1800x410x610

1800x460x660

1800x460x660

fonctionnalités

1. deux temp de précision programmable contrôleurs avec 30 segments.

2 deux zones de chauffage contrôlées séparément:

    • 200mm de longueur pour chaque zone de chauffage
    • 400mm de longueur totale de chauffage
    • Surface de chauffage à température centrale constante de 250 mm si les deux zones étaient chauffées à la même température

structures de four

1. four à tubes divisés avec glissière

2 max 1150ºc pour le chauffage continu

3 régulateurs de température numériques de précision multi-programmables avec 30 segments.

4 puissance d'entrée: entrée 208 - 240v ca, monophasé à max. 4kw

alimentation plasma rf

1. puissance de sortie: 5 -500W réglable avec une stabilité de ± 1%.

2 fréquence rf: 13,56 mhz ± stabilité de 0,005%.

3 puissance de réflexion: 10w max.

4 correspondant: automatique

5 port de sortie rf: 50 Ω, type n, femelle

6 bruit: <30 db.

7. refroidissement: refroidissement par air.

8 puissance: 208-240vac, monophasé, 50 / 60hz

manomètre anti-corrosif

1. 3.8x10 -5 plage de mesure jusqu'à 1125 torr

2 anti-corrosif, indépendant du type de gaz

3 haute précision et reproductibilité dans l'atmosphère pour une détection fiable de la pression atmosphérique

4 La détection atmosphérique rapide élimine le temps d'attente et raccourcit le cycle de traitement

5 facile à échanger plug & amp; élément de capteur de jeu

station de pompage à vide et vannes

1. La pompe à vide sèche sans huile pfeiffer à haute vitesse (120 l / min), la limite 10e-3 torr est installée à l'intérieur du chariot mobile robuste

2 L'adaptateur kf25 et le tuyau en acier inoxydable sont connectés entre la pompe et la bride du tube avec une vanne à boisseau sphérique pour un branchement rapide du client

3 10e-2 torr vide peut être atteint à l'intérieur du tube de traitement

débitmètres massiques & amp; station de mélange de gaz

il est installé dans un chariot mobile robuste où le four tubulaire peut être placé sur le dessus. L'écran tactile LCD est intégré pour permettre un contrôle aisé du débit de gaz de chaque canal indépendant.

1. température de travail: 5 ~ 45 ºc

2 max. pression: 3x10 6 Pennsylvanie

3 précision: ± 1,5% de

4 doublure: ± (0,5-1,5)% de ms.

5 précision de duplication: ± 0.2% f.s.

6 plage de contrôle: 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm ou 1,2,3,5,10slm.

chauffage & amp; taux de refroidissement

    • Le port et le logiciel rs485 sont installés et permettent le contrôle du profil de température par PC.
    • pour atteindre le taux de chauffage maximal, l'utilisateur doit préchauffer le four à la température désirée, puis faire glisser le four dans la zone d'échantillonnage du tube
    • afin d'atteindre le max. vitesse de refroidissement, déplacez le four chauffé de la zone chaude vers la zone froide

taux de chauffage:

15 ° c / s (TA - 150 ° C);

10 ° C / sec (150 ° C à 250 ° C);

7 ° c / sec (250 ° C à 350 ° C);

4 ° C / sec (350 ° C - 500 ° C);

3 ° C / sec (350 ° C - 550 ° C);

2 ° C / sec (550 ° C - 650 ° C);
1 ° C / sec (650 ° C - 800 ° C);
0,5 ° C / sec (800 ° C - 1000 ° C);

taux de refroidissement:

15 ° C / sec (1000 - 950 ° C);

10 ° C / sec (950 ° C - 900 ° C);

7 ° C / sec (900 ° C - 850 ° C);

4 ° C / sec (850 ° C - 750 ° C);

2 ° C / sec (750 ° C - 600 ° C);
1,5 ° C / sec (600 ° C - 500 ° C);
1 ° c / seconde (500 ° C à 400 ° C);
0,5 ° C / sec (400 ° C - 300 ° C);

garantie

garantie limitée de deux ans avec support à vie.

Notes d'application

fours à tubes avec des tubes de quartz sont conçus pour une utilisation sous vide et basse pression & lt; 0,12 MPa (pression absolue).
attention: un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression à moins de 3 psi pour un fonctionnement en toute sécurité.
le débit des gaz doit être limité à & lt; 200 sccm (ou 200 ml / min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube.
Définition de la limite de vide pour tous les fours à tubes de quartz: * Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000 ° C.
pour le fonctionnement du système pecvd avec une taille de tube supérieure à 4 ", veuillez toujours respecter une distance supérieure à 1 mètre de la source de plasma après le démarrage du générateur de plasma.

1. nous fournissons des machines avec support de la technologie de la batterie.

2 nous fournissons ensemble complet de équipement de batterie au lithium pour la recherche en laboratoire, la recherche à l'échelle pilote et la production lin e.



1 emballage standard exporté: protection anticollision interne, emballage externe de la boîte en bois.

2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.

3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie des dommages pour vous gratuitement.


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